
晶圆搬运革命德克威尔远程IO模块在半导体行业的工业现场总线之旅
在晶圆制造领域,自动化的应用至关重要,因为这里的精度、洁净度和可靠性要求极高。晶圆搬运是半导体生产线中的关键环节,它不仅需要高速且精确地传送这些昂贵而易碎的材料,而且还要保证它们在传输过程中不会受到污染。因此,高质量的搬运设备对于提升生产效率和产品质量至关重要。
现代技术已经能够制造出纳米级厚度的晶圆,这些晶圆需要在各种处理站之间进行快速且精确地传送。如果依赖于人工操作,那么这种操作既危险又脆弱,容易导致损坏或污染。在这样的背景下,晶圆搬运设备成为了整个加工系统自动化程度和可靠性的核心表现。
在这个项目中,德克威尔提供了其FS系列的一体式远程输入输出(IO)模块来支持光刻机上的板级或晶圆级产品移载。这一解决方案通过单机分布式安装方式,将德克威尔FS系列数字量模块部署到移载机每个工作位上,以便完成信号传输和对应电磁阀驱动。此外,还使用了西门子1200系列作为主站,并配备了德克威尔FS系列模块共计200个数字量点,以确保通信稳定性。
德克威尔FS系列的一体式I/O模块具有多种优势,如丰富的总线协议支持、直插端子设计、紧凑结构、小巧体积以及优异的通讯性能,不仅适用于物流行业,也广泛应用于半导体行业以及自动化单机设备与机器人工作站等场合,使得它成为工业现场总线集成解决方案中的亮眼选择。