德克威尔远程IO模块引领半导体行业晶圆搬运设备革新 Can总线协议精准连接未来
在晶圆制造领域，自动化的应用已经达到了前所未有的高度。其中，晶圆搬运设备作为半导体制造过程中的关键环节，其精确度、速度和稳定性直接关系到整个生产线的效率和产品质量。德克威尔远程IO模块正是凭借其卓越的性能，在这一领域取得了显著成就。
01、行业深度
半导体工业中，晶圆不仅珍贵而且脆弱，它们需要在高洁净度环境下准确无误地从一个处理站传送到另一个。在这个过程中，一点小失误都可能导致巨大的经济损失，因此对搬运设备的要求极为严格。
02、工艺详解
晶圆搬运设备通过精密机器人系统，将晶圆安全、高效地移动于不同的工作站之间。这一过程涉及复杂的机械操作，如高速转盘、精密定位以及紧密封闭的环境控制，以防止任何污染物或微尘进入工作区域。
03、德克威尔创新方案
为了实现这些复杂操作，德克威尔IO模块与光刻机协同作业，使得板级或晶圆级产品移载更加灵活、高效。每台移载机配备多个单独分布式安装的大容量FS系列数字量模块，这些模块负责传输信号并控制电磁阀，从而保证了整条生产线上每个节点都能完美同步运行。
04、FS系列一体式I/O技术
德克威尔FS系列一体式I/O模块以其丰富支持多种主流工业总线协议（如EtherCAT, PROFINET, DeviceNET等）而闻名，同时提供直插端子设计便于快速安装，以及结构紧凑小巧，便于空间有限场合使用。此外，该产品具有优异通讯性能，无数据丢包风险，是物流自动化、三代半制程以及各种单机设备不可或缺的一部分。
