半导体超纯水设备水处理设备生产厂家
半导体超纯水设备水处理设备生产厂家半导体超纯水设备水处理设备生产厂家 半导体超纯水设备 半导体超纯水设备 半导体超纯水设备是半导体行业制造出高质量产品的关键设备，主要用于清洗、蚀刻、掺杂等关键环节。超纯水的纯度要求JIN高，甚至达到了ppb(十亿分之一)级别。超纯水的制备一般可分为前级处理、反渗透(RO)、电渗去离子(EDI)、微过滤(MF)紫外线杀菌、超净过滤(UF)等阶段。 1.半导体超纯水设备的重要性 1.1 半导体超纯水设备是半导体行业制造出高质量产品的关键设备。 1.2 在半导体制造过程中，超纯水被用于清洗、蚀刻、掺杂等关键环节，其纯度要求JI高，甚至达到了ppb(十亿分之一)级别。 2.半导体超纯水设备的制备工艺2.1 超纯水的制备一般可分为前级处理、反渗透(RO)、电渗去离子(EDI)、微过滤(MF)、紫外线杀菌、超净过滤(UF)等阶段。 2.2 前级处理的作用是让原水(一般指城市自来水或地下水等)在进入多层介质过滤器(纯化膜组)之前，添加适量的化学试剂(例如次氯酸钠)以氧化有机物，与高分子聚合物产生凝聚作用，降低原水中的浑浊度及污染指数。 3.半导体超纯水设备的回收再利用3.1 在半导体材料或集成电路工厂的超纯水系统中，采取水的回收再利用处理，可以降低生产运行成本。 3.2 一般要使水的回收率达到70%以 上。
