解密CAN报文ID德克威尔远程IO模块在半导体行业晶圆搬运设备中的应用案例
在晶圆制造领域,自动化的应用程度达到了顶峰,因为这里需要极高的精度、洁净度和可靠性,而人工操作显然无法满足这些严苛要求。晶圆搬运是半导体生产线上的一项关键步骤,它不仅要求高精度、高速度,还必须确保搬运过程中的稳定性。
为了应对这种复杂的需求,德克威尔远程IO模块被广泛应用于晶圆搬运设备中。这些模块能够提供所需的准确性和快速响应能力,同时还能保证现场操作的安全和效率。这一技术创新得到了客户的一致好评,使得生产效率大幅提升,产品质量也得到了保障。
01、行业分析
在半导体产业链中,晶圆扮演着至关重要的角色,它们需要在各个处理环节之间进行高速且精确地传送。随着技术进步,现在可以生产出纳米级厚度甚至更薄的晶圆,这些微小而昂贵的材料在传输过程中易受损坏,而且任何污染都可能影响最终产品的性能。此外,由于其价值巨大,所以避免事故发生至关重要。
因此,对于晶圆制造来说,没有比自动化更好的解决方案了。高性能的搬运设备成为了这一行业发展不可或缺的一部分,其性能直接决定了整个加工流程是否顺畅,以及最终产品是否符合标准。
02、工艺介绍
晶圆搬运设备是一种先进机器,它能够自动完成从一个容器到另一个容器内移位整套动作。在这个过程中,机器人协助将硅基质板(即硅片)迅速且干净地移动到下一个阶段。这一切都要依赖于精密控制系统来实现,以确保每一次操作都是无误无差。
03、德克威尔解决方案
在某项目中,我们采用了德克威尔IO模块与光刻机相结合,从而实现板级或晶圆级产品间移载工作。通过分布式安装方式,每台机具配备了一套德克威尔FS系列数字量模块,以便为每个工作站提供信号传输,并控制电磁阀以完成特定的任务。在这次项目中,我们使用了约7台FS系列远程I/O单元来支持通讯功能。
04、FS系列集成型I/O介绍
我们的FS系列集成型I/O具有多重优势:
支持多种工业总线协议,如EtherCAT, PROFINET, DeviceNET, CC-Link等。
快速安装设计,便捷维护。
架构紧凑,小巧占用空间。
通讯稳定,无数据丢失问题。
应用于物流业、中端半导体制造及其他各种自动化单元和智能机械手臂等场景,为用户带来了极大的便利与增值服务。